Übersicht
Die Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF) beruht auf dem Prinzip, dass eine durch einen Röntgenstrahl angeregte Probe in ihren Grundzustand zurückkehrt und dabei Energie in Form von Röntgenstrahlen freisetzt. Die Messung der Energie und Intensität dieser sekundären Röntgenstrahlen gibt Aufschluss über die Elementzusammensetzung des Materials.
Aufbau und Prinzip
Die Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF) beruht auf dem Prinzip, dass eine durch einen Röntgenstrahl angeregte Probe in ihren Grundzustand zurückkehrt und dabei Energie in Form von Röntgenstrahlen freisetzt. Die Messung der Energie und Intensität dieser sekundären Röntgenstrahlen gibt Aufschluss über die Elementzusammensetzung des Materials.
Auswertung des Spektrums
Die Auswerte-Software des Spektrometers integriert automatisch die Peaks für jedes Element und erzeugt Intensitätsdaten in den Einheiten counts/Sekunde/mA. Die Intensität eines Peaks eines Analyten steht im Zusammenhang mit der Menge dieses Elements in einer Oberflächeneinheit, die wiederum mit der Dicke der Schicht, die dieses Element enthält, zusammenhängt. Da die Peakintensität mit der Beschaffenheit der zu analysierenden Schicht zusammenhängt, muss die Kalibrierung für eine quantitative Messung in derselben Matrix erfolgen wie die quantitative Messung selbst.
Fazit
Die EDRFA-Spektrometrie als Analysemethode hat viele Vorteile. Sie ermöglicht eine simultane Elementaranalyse bei kleiner und kompakter Bauweise des Systems. Der Wartungsaufwand ist relativ gering und es werden kein Wasser, keine Druckluft oder Gase benötigt. Der Stromverbrauch ist vergleichsweise gering bei optimierter Auflösung des Spektrums.
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